一、什么是??原子力顯微鏡???
??原子力顯微鏡??是一種具有??納米級(jí)甚至原子級(jí)分辨率??的超高分辨率掃描探針顯微鏡。它的核心原理非常簡(jiǎn)單:通過(guò)一個(gè)極細(xì)的探針在樣品表面輕輕“觸摸”或掃描,來(lái)感知樣品表面的三維形貌和物理性質(zhì)。
最令人驚嘆的是,AFM不需要像電子顯微鏡那樣必須在真空環(huán)境下工作,它可以在??大氣環(huán)境、液體環(huán)境、甚至真空??中操作。這使得它能夠觀測(cè)??生物大分子(如蛋白質(zhì)、DNA)、活細(xì)胞??等無(wú)法在電子顯微鏡下直接觀察的樣品,這是它的一項(xiàng)巨大優(yōu)勢(shì)。
二、工作原理
AFM的工作原理類似于古老的唱片機(jī)唱針讀取唱片溝槽,但精度要高無(wú)數(shù)個(gè)數(shù)量級(jí)。其核心組成部分包括:
??1、微懸臂梁:?? 一個(gè)極富彈性的微小懸臂。
??2、探針:?? 位于懸臂梁末端的一個(gè)極其尖銳的針尖,曲率半徑可達(dá)納米級(jí)別。
??3、激光發(fā)射與位置檢測(cè)系統(tǒng):?? 一束激光打在懸臂梁的背面,并反射到一個(gè)四象限的光電探測(cè)器上。
??4、壓電掃描器:?? 一種能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)精確定位的陶瓷材料,可以控制探針或樣品在X, Y, Z三個(gè)方向上進(jìn)行精確移動(dòng)。
??工作過(guò)程(以接觸模式為例):??
??1、接觸:?? 將尖銳的探針逐步逼近樣品表面,直到它與樣品表面的原子產(chǎn)生微弱的相互作用力(主要是范德華力)。
??2、掃描:?? 壓電掃描器帶動(dòng)探針在樣品表面進(jìn)行逐行掃描(柵掃描)。
??3、感知形變:?? 當(dāng)探針掃描到表面有起伏的地方時(shí),針尖與樣品之間的作用力會(huì)發(fā)生變化,導(dǎo)致微懸臂梁發(fā)生??彎曲(形變)??。
??4、檢測(cè)形變:?? 懸臂梁的彎曲會(huì)改變反射激光束的方向,從而在光電探測(cè)器上光斑的位置發(fā)生變化。這個(gè)位置變化被精確地記錄下來(lái)。
??5、反饋循環(huán):?? 系統(tǒng)通過(guò)一個(gè)反饋回路,實(shí)時(shí)調(diào)整壓電掃描器在Z方向的高度,以保持懸臂梁的形變(即探針與樣品之間的作用力)恒定。
??6、成像:?? 計(jì)算機(jī)記錄下掃描器在每一點(diǎn)(X, Y坐標(biāo))上為保持力恒定所需要的Z方向高度變化值。將這些數(shù)據(jù)組合起來(lái),就得到了樣品表面的??三維形貌圖??。
三、主要工作模式
AFM有多種工作模式,以適應(yīng)不同的樣品和測(cè)量需求,主要分為三類:
1. 接觸模式
??原理:?? 探針與樣品表面直接接觸(斥力模式),懸臂梁與樣品表面的距離小于零點(diǎn)幾個(gè)納米。
??優(yōu)點(diǎn):?? 分辨率高,掃描速度快。
??缺點(diǎn):?? 橫向力可能對(duì)柔軟樣品(如生物樣品)造成損傷或移動(dòng)。
2. 輕敲模式
??原理:?? 使微懸臂梁在其共振頻率附近發(fā)生振蕩,探針僅在每個(gè)振蕩周期的底部短暫地“輕敲”樣品表面。通過(guò)檢測(cè)振蕩振幅的變化來(lái)反饋表面形貌。
??優(yōu)點(diǎn):?? 極大地減少了橫向力,非常適合觀察柔軟、易碎或粘附性強(qiáng)的樣品(如生物、高分子材料),是應(yīng)用廣泛的模式之一。
??缺點(diǎn):?? 掃描速度略慢于接觸模式。
3. 非接觸模式
??原理:?? 探針在樣品表面上方振動(dòng)(距離幾到幾十納米),通過(guò)檢測(cè)樣品與針尖之間的長(zhǎng)程作用力(如范德華力、靜電力)的變化來(lái)成像。
??優(yōu)點(diǎn):?? 對(duì)樣品幾乎零損傷。
??缺點(diǎn):?? 分辨率較低,通常需要在真空環(huán)境中操作以排除空氣阻尼的干擾。
四、主要應(yīng)用領(lǐng)域
AFM的強(qiáng)大功能使其在眾多領(lǐng)域中應(yīng)用:
??1、材料科學(xué):??
觀察納米材料(如石墨烯、碳納米管)的形貌和結(jié)構(gòu)。
研究金屬、半導(dǎo)體、陶瓷等材料的表面粗糙度、晶粒邊界、缺陷。
分析高分子材料的相分離、晶體結(jié)構(gòu)等。
??2、生命科學(xué)與生物學(xué):??
??成像:?? 直接觀察DNA、RNA、蛋白質(zhì)等生物大分子的結(jié)構(gòu),甚至能在液體環(huán)境中觀察生物過(guò)程的動(dòng)態(tài)變化。
??力學(xué)性質(zhì)測(cè)量:?? 通過(guò)力曲線測(cè)量,研究活細(xì)胞的彈性(剛度)、細(xì)菌的粘附力、蛋白質(zhì)間的相互作用力等。
??3、納米技術(shù):??
??納米操縱:?? 移動(dòng)單個(gè)原子或分子,構(gòu)建納米結(jié)構(gòu)。
??納米加工:?? 利用AFM針尖對(duì)材料表面進(jìn)行刻蝕、氧化,實(shí)現(xiàn)“直寫(xiě)”式加工。
??4、半導(dǎo)體工業(yè):??
測(cè)量集成電路的線寬、深度,進(jìn)行失效分析。
檢測(cè)半導(dǎo)體器件的表面質(zhì)量。
五、原子力顯微鏡結(jié)構(gòu)特性: